什麼是真空泵？
真空泵是一種用於在封閉空間中產生、改善和維持真空的裝置。它通過機械、物理、化學或物理化學的方法，從被抽容器中抽出氣體，以獲得真空環境。
真空泵的分類
真空泵主要可分為兩大類：
- 氣體傳輸泵：通過機械運動將氣體從低壓區傳輸到高壓區排出。
- 氣體捕集泵：通過物理或化學方法捕獲氣體分子。
按工作原理和結構，常見的真空泵類型包括：
- 機械泵：旋片泵、滑閥泵、羅茨泵等
- 分子泵：渦輪分子泵
- 擴散泵
- 吸附泵
- 離子泵
- 低溫泵
主要真空泵的工作原理
旋片式真空泵
旋片泵由偏心安裝在泵腔內的轉子和滑動旋片組成。轉子旋轉時，旋片在離心力作用下緊貼泵腔內壁，形成密封腔室。隨著轉子旋轉，腔室容積周期性變化，實現氣體吸入、壓縮和排出。
羅茨真空泵
羅茨泵由兩個“8”字形轉子組成。轉子高速同步反向旋轉，氣體被吸入、輸送並排出，但不發生壓縮。
分子泵
分子泵利用高速旋轉的渦輪葉片，將氣體分子定向輸送，從而產生抽氣作用。
擴散泵
擴散泵利用高速蒸汽射流攜帶氣體分子，實現氣體的定向輸運。
真空泵的應用
真空泵廣泛應用於工業生產和科學研究中，主要用途包括：
- 真空鍍膜
- 真空乾燥
- 真空包裝
- 半導體製造
- 粒子加速器
- 空間環境模擬
- 分析儀器
不同應用對真空度要求不同，因此需要選擇適合的真空泵。
真空泵的選擇
選擇真空泵時需考慮以下因素：
- 所需真空度範圍
- 抽氣速率
- 工作介質特性
- 使用環境
- 維護要求
- 成本
根據具體應用選擇合適的真空泵類型，可以實現最佳的真空獲得效果。
